A 250 bars, le micro-refroidisseur tient le choc

Le Leti a réalisé récemment des micro-refroidisseurs en silicium pour une expérience du CERN. Au grand étonnement des chercheurs genevois, ils battent tous les records de tenue en pression. Alors que la spécification de l’appel d’offres demandait 100 bars, les composants livrés fin 2012 tiennent toujours le choc à 250 bars. Et le CERN va se procurer une pompe plus puissante pour pousser le test à ses limites.

Ces micro-refroidisseurs sont réalisés en assemblant deux plaques de silicium par adhésion moléculaire. D’habitude, les caractérisations portent sur la force d’arrachement et non sur la tenue en pression ; le Leti a donc découvert à cette occasion une vertu cachée de sa technique. D’autres applications sont envisagées. Elles pourraient donner lieu à des dépôts de brevets.

Contact : eric.rouchouze@cea.fr
 

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