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AtMol donne naissance à des objets technologiques inédits
Catégorie(s) : Actualités, Recherche
Publié le : 1 décembre 2011
Lancé début 2011, le projet européen AtMol sur l’électronique moléculaire donne naissance côté Leti à des objets technologiques inédits. Le laboratoire développe sur substrats silicium des surfaces de plusieurs centaines de nanomètres de côté présentant une planéité quasi-parfaite : moins de 1 nm de rugosité. Il protège ces surfaces par des packagings temporaires et usine par FIB des nanovias de 40 nm espacées de 300 nm, pour la reprise de contacts électriques sur ces substrats.
Ces objets seront envoyés pour intégration aux partenaires, dont le CEMES, laboratoire toulousain du CNRS qui coordonne ce projet. A terme ces puces, dont le niveau de vide sera dix millions de fois plus poussé qu’en technologie MEMS, permettront la caractérisation électrique des composants moléculaires reportés.
Contact : aurelie.thuaire@cea.fr
