Du bruit dans les fissures, des rugosités dans le matériau

Les ondes acoustiques émises par la propagation d’une fissure dans un matériau peuvent modifier la trajectoire de cette fissure. Elles créent ainsi sur la surface mise à jour une alternance périodique de textures lisses et rugueuses. Ces résultats ont été obtenus par une équipe INAC-Leti-Soitec qui étudiait des plaquettes SOI, fabriquées par clivage à partir de silicium.

Pour contrôler précisément le plan de clivage, on produit dans le silicium de minuscules cavités, sortes de pointillés de pré-découpe. Pourtant, des rugosités additionnelles d’environ 0.05 nm apparaissent. On sait désormais qu’elles sont provoquées par les sons de fissuration dont la vitesse de phase équivaut à la vitesse de la fissure. Les chercheurs vont s’attacher à les éliminer pour continuer à améliorer les substrats de Soitec.

Contact : francois.rieutord@cea.fr

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