Calcul quantique : la route du silicium 28 est ouverte

Depuis 2014, plusieurs publications présentent l’isotope 28 du silicium comme le bon matériau pour réaliser des qubits de spin pour le calcul quantique. Restait à le produire en environnement CMOS, qui utilise le silicium naturel contenant 4.7%  de l’isotope 29, moins favorable aux qubits.

INAC et le Leti viennent de franchir une première étape avec l’aide d’un laboratoire russe* et d’Air Liquide. Grâce à un dépôt CVD de silane enrichi en isotope 28, ils ont obtenu sur un wafer 300 mm standard une couche de 30 à 60 nm de silicium 28 pur à plus de  99,992 %.

La surface est assez lisse pour subir ensuite les différentes étapes de fabrication. Les chercheurs vont utiliser ce matériau inédit pour élaborer un procédé de fabrication en série de qubits de spin. Leurs travaux ont pour cadre le projet européen MOS-Quito**.

* Institute of Chemistry of High Purity Substances
** MOS-based quantum information technology

Contact : marc.sanquer@cea.fr

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