Changement de recette pour les mémoires MRAM

Une équipe Spintec a trouvé un nouveau levier pour améliorer la rétention de ses mémoires MRAM : elle remplace le tantale par du tungstène dans les empilements des jonctions tunnel magnétiques. La fabrication de ces empilements comprend en effet un recuit nécessaire à la cristallisation de la jonction. Pendant ce recuit, le tantale tend à diffuser vers la barrière tunnel et à en absorber l’oxygène. Il absorbe aussi une partie du fer de l’électrode magnétique et en modifie la composition chimique. La magnétorésistance et la durée de stockage de l’information (rétention) de la MRAM sont alors altérées.

Cette diffusion indésirable apparaît au-delà des 300 °C, alors que les recuits peuvent être effectués à 400 °C. Mieux vaut remplacer le tantale par du tungstène, qui migre moins et capte moins de fer lors des recuits.

Contact : bernard.dieny@cea.fr

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