Contamination métallique : une gestion simplifiée

Chaque année, les responsables d’équipements 200 mm et 300 mm du CEA-Leti demandent des milliers d’analyses de contamination métallique pour des wafers. Or, jusqu’en 2015, ces demandes étaient saisies et traitées une par une. Deux chercheurs s’en sont étonné et ont confié à un thésard l’étude d’une possible évolution de GASEL, le logiciel de traitement des demandes.

Ils ont eu raison : la nouvelle version de l’applicatif permet de faire plusieurs demandes à la fois, de créer des modèles de demandes, de les réutiliser et de les modifier. La saisie est plus rapide, les analyses sont regroupées et plus faciles à organiser. Sans compter les économies directes… Les boîtes de transport de wafers sont utilisées à leur pleine capacité et les coûts de nettoyage après utilisation (66 euros par boite 300 mm !) diminuent d’autant.

Contact : sylvie.barba@cea.fr

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