Déformer le germanium pour émettre davantage de lumière

Comment déformer le plus possible du germanium pour doper sa capacité à émettre de la lumière et lui ouvrir des applications en émission laser ? C’est le sujet de recherche d’une équipe INAC-Leti qui explore tour à tour différents procédés. Le dernier publié porte sur l’utilisation d’une couche de nitrure de silicium contrainte pour déformer des nanofils. Ceux-ci y sont déposés puis transformés en structures suspendues, par ablation de la zone qui les supporte. Le nitrure de silicium leur transmet alors la contrainte qu’il supportait.

Grâce à la spectrométrie optique et à la diffraction X à l’ESRF, la déformation de ces nanofils a été mesurée à 1,5%. Un score qui devrait être encore fortement amélioré dans le cadre des projets Phare DSM-DRT Laser Ge et Operando qui utilisent des couches de Ge sur isolant (GeOI).

Contact : kevin.guilloy@cea.fr

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