Dépôt par laser pulsé : un équipement unique au monde au BHT

Le Leti installera d’ici avril au BHT un équipement de dépôt par laser pulsé de la société Solmates. Il s’agit d’un prototype, le seul au monde compatible avec le 300 mm. Pendant deux ans, dans le cadre d’un Joint Development Program, le Leti et Solmates vont évaluer sa capacité à réaliser en volume des couches minces pour la 5 G.

Celle-ci requiert en effet des matériaux piézoélectriques de composition chimique complexe et de très haute qualité cristalline, sur des épaisseurs variées (de quelques nanomètres au micron) et parfaitement uniformes. En laboratoire académique, le dépôt par laser pulsé a montré qu’il tenait ce cahier des charges. Il doit maintenant faire ses preuves à l’échelle industrielle. Ces travaux seront suivis avec intérêt par les partenaires industriels du Leti.

Contact : bernard.andre@cea.fr

Facebook

Twitter