Electrodes transparentes : l’oxyde d’étain peut-il remplacer l’ITO ?

L’oxyde d’indium dopé à l’oxyde d’étain (ITO) est un excellent matériau pour électrodes transparentes, utilisé pour les écrans de smartphones, l’éclairage OLED etc. Mais sa rareté et son coût posent problème… Aussi, une équipe du Leti lui cherche un remplaçant.

Les premiers résultats montrent que l’oxyde d’étain (SnO₂) est un candidat crédible. En particulier, il reste stable lors des étapes de microfabrication comme la gravure sèche et humide. De plus, il est appliqué par ALD* : l’épaisseur des couches est mieux maîtrisée qu’avec la pulvérisation utilisée pour l’ITO. Ces caractéristiques en font un candidat idéal pour la réalisation d’OLEDs.

Le CEA-Leti continue donc à évaluer le potentiel du SnO₂, notamment pour la fabrication d’OLEDs dites « inverses », de durée de vie supérieure à celle des OLEDs classiques.

* Atomic Layer Deposition

Contact : tony.maindron@cea.fr

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