Entretien : Sorin Cristoloveanu, IMEP-LAHC

Sorin Cristoloveanu, IMEP-LAHC :

« La SHG, une nouvelle technique pour caractériser les plaques SOI »

L’équipementier américain Femtometrix vient d’installer à IMEP-LAHC le tout premier équipement prototype de Second Harmonic Generation (SHG). De quoi s’agit-il ?
La SHG est une technique de caractérisation de surfaces et d’interfaces en couches minces. Un laser femtoseconde est focalisé sur la surface. La seconde harmonique du signal réfléchi livre des informations comme la présence de contaminants métalliques, les imperfections d’interfaces, les charges parasites incrustées, le champ électrique local, etc.
La SHG est particulièrement adaptée aux substrats SOI, dont les couches ultrafines (jusqu’à quelques nanomètres) induisent des difficultés de mesure : on ne sait pas à quelle interface attribuer les signaux mesurés par des méthodes classiques.

Pourquoi Femtometrix installe-t-il cet équipement à Grenoble ?
Nous sommes l’un des principaux centres d’expertise mondiaux en SOI. Et nous avons travaillé pendant plus de deux ans avec eux et avec l’université Vanderbilt (Tennessee). Des théoriciens avaient écrit sur la SHG, des laboratoires avaient monté des manips de coins de table. Mais il y avait une étape majeure à franchir pour arriver à cet équipement prototype à vocation industrielle.

Qui peut l’utiliser aujourd’hui et pour quoi faire ?
L’IMEP-LAHC héberge l’équipement et lance une thèse début 2015. Nous allons caractériser un maximum d’échantillons, avec une priorité sur le FD-SOI, pour définir des règles de métrologie. Des contacts sont établis avec STMicroelectronics, Soitec et le Leti et nous invitons d’autres équipes intéressées à nous soumettre leurs plaques.

Contact : ionica@minatec.grenoble-inp.fr

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