ESRF : les projets longue durée s’ouvrent à l’industrie

C’est une première : l’ESRF a accepté un projet de longue durée (LTP) déposé par un industriel, en l’occurrence STMicroelectronics. A partir de janvier 2015, ce dernier bénéficiera sur trois ans de 20 jours de faisceau pour caractériser à très haute résolution les défauts de composants électroniques 3 D, avec l’aide du Leti.
Les LTP étaient jusqu’ici l’apanage exclusif des académiques. La demande de STMicroelectronics suit de peu le programme de revalorisation de l’ESRF, qui dispose maintenant d’une ligne de lumière X unique au monde de 20 nm de résolution.
Il devient possible de scruter les défauts enterrés de piliers de cuivre, de collages directs ou de dispositifs embarqués. Alors que la microscopie électronique, qui offre une résolution de 1 nm, limite ses investigations à la surface des composants.

Contact : pierre.bleuet@cea.fr

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