Ils ont inventé le stylo SALD

La technique de dépôt SALD, déjà réputée pour sa rapidité et son adaptation aux larges surfaces, se dote d’un nouvel atout. Une équipe du LMGP a exploité la liberté de design ouverte par l’impression 3D pour obtenir des têtes d’injection SALD customisées et bas coût. De plus, ces  têtes « stylos SALD »  une fois montées sur une table XYZ peuvent faire du dépôt chimique sélectif et 3D de matériaux fonctionnels. Ceci sans masque et sans chambre de dépôt sous vide, avec une résolution latérale millimétrique et une résolution en épaisseur nanométrique !

Le LMGP participe à un projet européen visant à obtenir une résolution latérale micronique. Le stylo SALD verrait ainsi s’élargir le nombre de ses applications potentielles, notamment en microélectronique. Ces travaux ont été publiés dans Advanced Materials Technologies.

Dépôt d’un cercle de ZnO en vidéo : https://onlinelibrary.wiley.com/action/downloadSupplement?doi=10.1002%2Fadmt.202000657&file=admt202000657-sup-0006-MovieS5.mp4

Contact : david.munoz-rojas@grenoble-inp.fr

Le Midi MINATEC du 26 février sera consacré au stylo SALD

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