La caractérisation couplée décrit les transitions de phase

Que se passe-t-il sur le plan morphologique et structural quand un matériau pour mémoire PCRAM passe de l’état amorphe à cristallin ? Pour le savoir, une équipe de la PFNC* a observé un chalcogénure en couche mince lors d’un recuit en température, en combinant diffraction X et diffusion X. Les deux jeux de données ont ensuite été couplés. Verdict : une variation de volume d’environ 5 %, génératrice de fortes tensions dans le matériau.

Les travaux ont été menés sur un diffractomètre équipé d’une chambre en température qui monte jusqu’à 1 200 °C. Principale difficulté : fixer les conditions d’acquisition optimales, qui accordent la dynamique de mesure avec la cinétique de la cristallisation. Cette technique couplée peut être utilisée avec d’autres types d’échantillons.

* Plateforme de nanocaractérisation

Contact : frederic.fillot@cea.fr

Facebook

Twitter