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La MEIS scrute les contraintes des nanofils
Catégorie(s) : Actualités, MINATEC, Recherche
Publié le : 10 juin 2013
La technique MEIS* fournit une analyse chimique et structurale de surface à très haute résolution, par analyse énergétique et angulaire d’ions rétrodiffusés. Elle est couramment utilisée pour des couches planes. Une équipe INAC – Leti vient d’innover en l’adaptant à l’étude des propriétés optiques de nanofils de nitrure de gallium.
Ces propriétés optiques dépendent de l’état de contrainte de nitrures insérés dans le nanofil. Le MEIS parvient à le déterminer à 0,1% près en mesurant la déformation de la maille atomique en fonction de la profondeur.
L’adaptation du MEIS à ce nouvel usage repose sur des modifications logicielles. D’autres mesures d’états de déformation dans les nanofils semblent possibles, par exemple sur des insertions nanométriques de germanium dans du silicium ou d’arséniure de gallium et d’indium.
Contact : denis.jalabert@cea.fr
* Medium Energy Ion Scattering
