La PFNC muscle son parc d’outils de microscopie 3 D

Un outil de gravure plasma rapide basée sur des ions xénon, un système original de tomographie par rayons X pour l’imagerie 3 D : la Plateforme de nanocaractérisation (PFNC) s’est dotée de deux équipements de pointe pour comprendre et améliorer la fiabilité des composants 3D de grande dimension.
L’outil de gravure travaille 60 fois plus vite que les méthodes classiques par faisceau d’ions gallium et prépare des grands échantillons, de dimensions typiques 100 x 100 x 100 µm3. La tomographie X produit des images à 100 nm de résolution, proche de celle obtenue sur un synchrotron. Il devient possible de quantifier des matériaux « enterrés » à 100 µm, d’observer les réseaux de pores dans du silicium ou des piles à combustible, de détecter les défauts dans des vias traversants ou des piliers de cuivre etc.

Contact : pierre.bleuet@cea.fr

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