La plus petite mémoire du monde est grenobloise

Une équipe Leti a réalisé une mémoire à stockage de charge de 16 nm, la plus petite jamais citée dans la littérature : jusqu’ici, les dispositifs les plus avancés mesuraient 40 nm. De plus, ces objets inédits ont démontré leur fonctionnalité. Leur stabilité en cyclage, leur tenue en température et leur faible consommation les destinent notamment aux applications embarquées dans l’automobile.
Les chercheurs ont utilisé l’architecture « split gate », brevetée depuis 10 ans, et recouru à des espaceurs pour éviter une étape de lithographie coûteuse. Ils sont venus à bout du contrôle de la forme et de la longueur de la grille mémoire, permettant ainsi une bonne maîtrise des performances électriques. Cinq brevets ont été déposés et des contacts industriels sont en cours.
 

Contact : christelle.charpin@cea.fr

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