Labo commun : FEI renouvelle pour trois ans

L’équipementier américain FEI, spécialiste des microscopes électroniques en transmission (TEM) et à balayage (MEB), a renouvelé pour trois ans le laboratoire commun créé en 2010 avec la Plateforme de nanocaractérisation (PFNC).

FEI souhaite poursuivre les travaux engagés lors du premier contrat, autour de deux thèmes. Le premier porte sur le perfectionnement de la nano-diffraction électronique en mode précession, pour la mesure de déformations à l’échelle nanométrique ; elle sera notamment appliquée aux futurs nœuds 14 nm. Le second couvre l’amélioration matérielle et logicielle d’une technique de tomographie X dans un MEB.

FEI fournit à cette occasion deux nouveaux équipements : un MEB Quanta équipé d’une source à émission de champ, déjà livré, et un TEM Titan Themis qui sera installé en avril.

Contact : jean-claude.royer@cea.fr

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