Le beamforming dope la résolution angulaire des pMUTs

Les pMUTs, des transducteurs MEMS dédiés à la génération et à la réception d’ondes ultrasonores, sont pénalisés par une résolution angulaire souvent supérieure à 90°.
Une équipe CEA-Leti a réduit ce chiffre à 18° pour la détection d’un objet placé à 40 cm.
Ceci en mettant cinq pMUTs en réseau et en appliquant des techniques de formation de faisceau (beamforming). Des composants pMUTs ont été développés pour l’occasion.
Ils contiennent deux couches d’un matériau piézoélectrique, le nitrure d’aluminium. Ils permettent de réaliser du beamforming et d’exploiter les interférences entre les mesures des pMUTs.
Ce résultat a obtenu un Best Paper Award à la conférence Smart System Integration 2021.
Les applications visées : interfaces homme – machine, instrumentation de robots et capteurs pour le véhicule autonome.

Contact : camille.giroud@cea.fr

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