Le silicium poreux métallisé en douceur

Plus besoin de procédé physique ou de CVD pour métalliser du silicium poreux. Une équipe CEA/Plateforme Nanochimie (CPE Lyon) réalise l’opération en conditions douces, avec un procédé plus efficace et moins coûteux que les solutions actuelles.

La métallisation s’effectue entre 50 °C et 100 °C, par immersion du silicium poreux dans un liquide ionique contenant un précurseur organométallique. Le liquide imprègne le matériau et le précurseur précipite en nanoparticules qui se déposent au cœur même des pores.

Ce procédé a été validé pour le cuivre, le cobalt, le palladium et le platine. Il est assez mature pour envisager l’intégration de silicium poreux métallisé dans des dispositifs. Parmi les applications visées : les micro-colonnes de chromatographie, les capteurs de gaz et les membranes de piles à combustible.

Contacts : paul.haumesser@cea.fr; frederic-x.gaillard@cea.fr

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