Les nanofils piézorésistifs, une cure de minceur pour les MEMS

Grâce à une détection par nanofils piézorésistifs de silicium, il est possible de réduire la taille des MEMS d’un facteur 3 à 4 sans perte de performance, et d’intégrer sur une même puce jusqu’à 11 axes de sensibilité : c’est ce qui ressort de travaux menés par le Leti dans le cadre de projets ANR, et qui ont donné lieu au dépôt d’une dizaine de brevets.
La réduction de taille s’accompagne d’une diminution du coût du composant, puisque la surface de silicium est plus faible, et d’une moindre consommation électrique grâce à une alimentation pulsée sur une durée qui peut être très courte.
Un capteur 9 axes (3 pour l’accéléromètre, 3 pour le magnétomètre, 3 pour le gyroscope) a été développé et va accueillir en sus un capteur de pression et un microphone. Un transfert industriel est envisageable dans un an.
 
Contact : philippe.robert@cea.fr

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