Lithographie : première validation d’une résine non amplifiée

Les procédés de lithographie 300 mm des prochaines années utiliseront peut-être des résines dites « non amplifiées », pour tracer les motifs de circuits avec un meilleur contrôle dimensionnel et moins de rugosités de bords. Les membres du projet industriel Imagine, dont le Leti, ont réalisé récemment une première validation sur équipement industriel.

D’abord pré-évaluée sous simple faisceau, la résine a été testée avec succès sous un équipement de 1 300 faisceaux de Mapper, l’un des partenaires du projet. Les paramètres du procédé ont été définis afin d’assurer un transfert industriel qui pourrait intervenir dès 2018. En parallèle, dans le cadre d’un projet Inter-Carnot en phase de validation finale, le Leti prévoit d’évaluer d’autres résines non amplifiées avec l’université de Mulhouse.

Contact : laurent.pain@cea.fr

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