Mémoires : le GST accepte de se laisser observer

Le tellurium de germanium (GST), qui passe de l’état amorphe à l’état cristallin entre 100 et 150°C, est un bon candidat pour les mémoires à changement de phase. Mais ses propriétés se retournent contre lui quand on l’observe en microscopie à transmission : la préparation d’échantillon par faisceau d’ions l’échauffe tellement qu’il se cristallise, créant ainsi un artefact rédhibitoire.
Une équipe Leti a contourné l’obstacle en réduisant l’énergie de faisceau de 30 à 8 kV. Le travail devient moins précis, il dure deux fois plus longtemps. Mais le GST dans la lame mince (épaisseur : 100 nm) obtenue au bout du compte est uniformément amorphe. Reste à optimiser cette technique pour réduire sa durée et la transférer à des plaques entières.
 
Contact : guillaume.audoit@cea.fr

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