Un micro-écran d’une résolution exceptionnelle

Après quatre ans de travaux, le Leti a présenté un écran à base de micro-LED de 873×500 pixels au pas de 10 microns au salon Photonics West en janvier 2017. Cette rupture technologique a été rendue possible par la mise au point d’une technique de fabrication auto-alignée brevetée. Cette dernière fait intervenir une unique étape de lithographie pour définir l’ensemble des contacts électriques et la géométrie des micro-LED, ainsi qu’une combinaison de plusieurs étapes de métallisation damascène. La suppression de certaines contraintes d’alignement permet de réduire le pas de pixellisation et d’envisager un passage rapide sous le seuil des 7 microns.

Les micro-écrans à haute résolution peuvent, par exemple, être intégrés dans des dispositifs portables de réalité augmentée ou réalité virtuelle.

Contact : ludovic.dupre@cea.fr

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