Micro-résonateurs : quand la qualité devient un problème

Les micro-résonateurs ont un « facteur qualité » toujours plus élevé : ils vibrent de plus en plus longtemps à partir d’une impulsion initiale. C’est un progrès pour les applications visées. Mais un problème pour les chercheurs CEA-Leti : avec les techniques usuelles, il faut jusqu’à 2 heures pour caractériser un seul composant ! Ce qui les a conduits à mettre au point une nouvelle méthode.

Le résonateur est mis en vibration par une impulsion électrique de forme particulière, sur une bande de fréquence limitée et choisie avec soin. Ainsi, le signal de résonance n’est pas couvert par un signal parasite dû à la structure des capteurs. La mesure, plus fiable qu’avant, prend 30 secondes par composant et peut être automatisée à l’échelle d’un wafer. Cette méthode a été validée sur plusieurs projets de R&D.

Contact : antoine.nowodzinski@cea.fr

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