Micro-résonateurs suspendus : le MIT se fournit à Grenoble

Les faits datent du début 2014 mais sont restés confidentiels près d’un an. Un laboratoire de biologie du MIT a fait appel au CEA Leti pour réaliser des micro-résonateurs suspendus d’une extrême complexité. Les premiers composants ont donné toute satisfaction et le laboratoire américain a alors décidé de changer de fondeur. Il a commandé pour juin prochain quelque 1 500 résonateurs au CEA Leti.
Ils sont dotés d’une poutre qui vibre à plusieurs centaines de kHz et comporte des canaux microfluidiques où circulent des cellules. La fréquence de résonance varie en fonction de la masse de ces cellules et permet un pesage précis au femtogramme (10-15 g) ; on peut ainsi, par exemple, dissocier des cellules cancéreuses de cellules saines.

Un des objets les plus techniques jamais réalisés au Leti

Aux dires des chercheurs grenoblois, ce micro-résonateur est un des objets les plus techniques qu’ils aient jamais réalisés. Il associe trois types de substrats (silicium, SOI, verre) et trois techniques de scellement, moléculaire, anodique et eutectique. La largeur des canaux microfluidiques varie tout au long de leur tracé entre 10 et 3 microns.
La fabrication comprend 150 étapes, contre 50 pour un MEMS classique. Le facteur de qualité obtenu – plus de 13 000 – n’est pas loin de l’état de l’art pour ce type de résonateur.
Le MIT n’est pas réputé pour rechercher spontanément les partenariats académiques. Qu’il ait sollicité un laboratoire français situé à 6 000 km de ses bases sonne comme une belle reconnaissance. En attendant, on l’espère, des collaborations plus poussées.

Contact : vincent.agache@cea.fr

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