Nanocomposites en couche mince : des propriétés hors normes

Le Leti et le LTM ont mis au point une nouvelle classe de matériaux composites en couche mince pour la microélectronique. Ils sont basés sur la dispersion dans une matrice polymère d’une très forte charge de nanoparticules : 50 % et plus du volume total. L’ensemble atteint ainsi des propriétés hors normes. Exemple : des matériaux magnétiques quasi sans perte jusqu’à 20 GHz, soit vingt fois plus hauts en fréquence qu’habituellement.

Les nanoparticules sont protégées de l’oxydation par une coquille graphène nanométrique individuelle. La distance entre particules est contrôlée par une seconde coquille polymère nanométrique, pour bien maîtriser les propriétés visées. La mise en œuvre de ces nanocomposites en environnement salle blanche a été démontrée pour des couches jusqu’à 20 microns d’épaisseur, sur des wafers 200 mm.

Contact : bernard.viala@cea.fr

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