Nanosonde Auger : une analyse élémentaire quantitative à l’échelle nanométrique

Mener avec une sonde Auger l’analyse élémentaire quantitative d’un nanofil hétérostructuré de silicium-germanium … Une équipe CEA-Leti– CNRS/LTM /LPN l’a fait, grâce à la mise au point de nouveaux protocoles d’analyse spectroscopique et de profilométrie. Ils ont été validés par recoupement avec les résultats issus de caractérisations préalables par diffraction X et microscopie en transmission.

Par rapport à ces deux techniques, la nanosonde Auger a plusieurs atouts. Elle est utilisable sur échantillon 3 D, se contente d’une préparation d’échantillon simple et offre une résolution latérale de 50 nm.
Forts de ce succès sur des nanofils Si-Ge de moins de 100 nm de diamètre, les chercheurs se penchent désormais sur d’autres structures de taille nanométrique, en particulier des dispositifs élaborés sur substrats III-V.

Contact : eugenie.martinez@cea.fr

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