Oxydes nanostructurés : suivez leur croissance en direct

Le projet ANR MOON connaîtra en février une étape importante : la conduite d’une seconde campagne d’essais sur le synchrotron SOLEIL, près de Paris. Grâce à un réacteur de dépôt en phase vapeur (CVD) instrumenté et embarqué sur un diffractomètre, une équipe LMGP-SIMaP* suivra seconde par seconde le dépôt de couches ultrafines d’oxyde de zinc sur un substrat d’arséniure d’indium et de gallium. Tout pourra être observé ou presque : mécanisme de croissance, quantités déposées, texture, morphologie des nucléus, déformation du substrat, etc
Cette démarche permet d’optimiser un dépôt en cours de process, dès les premiers stades, au lieu de travailler en aveugle. Le réacteur instrumenté a été validé en mai lors d’une première campagne d’essais à SOLEIL. Il est installé au LMGP, qui l’utilise régulièrement.

* avec des chercheurs de Marseille, Metz et SOLEIL

Contact : hubert.renevier@grenoble-inp.fr

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