Photonique silicium : le Leti réalise deux testeurs 300 mm

Comment faire des mesures optiques et électro-optiques sur composants photoniques en wafer 300 mm alors qu’aucun équipementier ne propose de testeur ? Le Leti a résolu le problème en modifiant un testeur classique : les pointes sont remplacées par des fibres optiques, les porte-pointes sont pilotés par des moteurs pas à pas qui réalisent des auto-alignements au micron près grâce à des algorithmes conçus en interne. Le tout a demandé plusieurs mois de travail mais ces testeurs optiques « bricolés » donnent entière satisfaction aux équipes.

Il y a quelques années, le Leti avait réalisé des adaptations similaires sur des testeurs 200 mm. Il dispose désormais d’un parc de testeurs photoniques exceptionnel (deux 200 mm, deux 300 mm), ouvert ponctuellement à d’autres laboratoires. Qu’on se le dise!

Contact : philippe.grosse@cea.fr

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