Première fabrication mondiale de microsystèmes 300 mm

En fabriquant cet été des micro-accéléromètres en technologie M&NEMS sur plaques 300 mm, le CEA-Leti a signé une première mondiale et adressé trois messages importants au monde industriel et académique.

Il montre d’abord qu’il est possible de fabriquer des MEMS (microsystèmes électromécaniques) au format 300 mm, le plus grand utilisé en microélectronique. Les MEMS accèdent ainsi aux technologies les plus pointues du moment et à leurs atouts : baisse des coûts et de la consommation, concentration accrue de fonctions et d’intelligence.

90 % de rendement, 97 % des étapes de fabrication en interne
Second message : la technologie M&NEMS du Leti a devant elle un avenir prometteur. Elle permet déjà d’envisager divers capteurs (accéléromètres, gyromètres, magnétomètres, capteur de pression, microphone) avec une technologie unique, et de réaliser des capteurs dits combo sur une même puce en associant par exemple 3 accéléromètres et 3 gyromètres.
Elle a aussi un fort potentiel de miniaturisation. Sa possible fabrication en 300 mm renforce encore son attractivité.
Enfin, le Leti a confirmé son rang de premier centre de R&D au monde sur les MEMS. Les wafers réalisés cet été ont demandé une centaine d’étapes de fabrication, dont 97 % menées en interne. Les accéléromètres sont fonctionnels et le rendement sur certaines structures atteint 90 %.
Il faut attendre les premières sollicitations d’industriels pour aller au-delà de cette preuve de concept. Mais le Leti a creusé un écart significatif avec ses grands challengers, IME à Singapour, C2MI au Québec ou l’IMEC en Belgique.

Contact : jean-rene.lequepeys@cea.fr

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