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La plate-forme MEMS 200
La Plate-forme MEMS 200 concentre sur près de 2 000m2 de salles blanches les moyens technologiques nécessaires au développement de nouvelles filières de microsystèmes. Les projets sont menés dans le cadre de contrats bilatéraux avec des industriels (intégrateurs, fabricants de composants, fondeurs). Ils peuvent démarrer avec la définition du concept technologique de base et aller jusqu’à la réalisation de prototypes et de préséries de quelques centaines de milliers d’unités.
Le parc d’équipements en place, intégralement au standard 200 mm, représente un investissement cumulé de plus de 30 millions d’euros. Il est exploité par des ingénieurs et des techniciens qui travaillent en trois équipes, 24 heures sur 24.
Les projets portent majoritairement sur six domaines : MEMS, packaging/3D, magnétisme, radiofréquence, biologie, et micro-écrans.
La ligne permet aux industriels de développer de nouveaux microsystèmes sans avoir à acquérir l’expertise du domaine, ni à investir prématurément dans des moyens propres. Elle accueille en permanence une dizaine d’entreprises partenaires et une vingtaine de projets collaboratifs, avec des règles strictes de confidentialité et de cloisonnement des projets.
Elle a notamment donné naissance à des technologies d’interconnexions innovantes (TSV) pour imageurs de téléphones mobiles avec STMicroelectronics, et à plusieurs produits microsystèmes très innovants en collaboration avec des start-up : des micro-écrans avec Microoled, des systèmes miniaturisés d’analyse de mélange gazeux avec APIX et des composants optiques ultracompacts pour caméras miniatures avec Wavelens.
Contact : laurent.duraffourg@cea.fr
