La plate-forme Nanotec 300

Les 250 personnes qui travaillent sur la Plate-forme Nanotec 300 conduisent les recherches en microélectronique avancée nécessaires aux futurs substrats et circuits sub. 32 nm.
Ils disposent de 5 000 m2 de salles blanches, comprenant des équipements 300 mm de lithographie, gravure, dépôt, implantation, traitement thermique, nettoyage, polissage … ainsi que les moyens de caractérisation associés.

L’ensemble représente un investissement cumulé de plus de 100 millions d’euros et permet de réaliser, à partir de plaques vierges, des développements de procédés élémentaires ainsi que des modules d’intégration complets. Chaque année, plusieurs millions d’euros sont investis pour enrichir le parc d’équipements existant.
Nanotec 300 s’appuie également sur les moyens du siteSTMicroelectronics de Grenoble-Crolles, avec lequel il fonctionne en boucles courtes, avec ceux du site IBM d’Albany aux Etats-Unis, et développe de nombreux partenariats avec la recherche académique.

Les travaux de Nanotec300 portent à la fois sur les structures planaires et 3D aux limites du CMOS, « More than Moore », ainsi que sur des procédés en rupture technologique. Aux côtés de programmes exclusifs avec quelques partenaires industriels privilégiés, la plate-forme est ouverte à des programmes non exclusifs en bilatéral : industriels du semi-conducteur, équipementiers dans le cadre de « Joint Development Program » (JDP), fournisseurs, etc.

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