Salle blanche 300 mm : 13 nouveaux équipements en 2019

Le Leti poursuit à un rythme soutenu l’installation et la mise en service de ses équipements 300 mm. L’année 2018 avait été consacrée au scanner à immersion, qui représentait à lui seul environ 40% du budget du plan 300mm. En 2019, 13 équipements ont été accueillis ou sont en passe de l’être : machines de dépôt pour les imageurs et les mémoires, traitement thermique, collage, planarisation mécano-chimique etc.

Grâce à ce programme d’investissement, le Leti a déjà doublé en deux ans le volume de sa R&D 300 mm ; à terme, elle devrait représenter 50% de son activité. Des salariés qui travaillaient sur le 200 mm basculent sur le nouveau format, des recrutements sont menés en parallèle. Au total, plusieurs centaines de personnes sont concernées.

Contact : laurent.clavelier@cea.fr

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