Sonde atomique : vers une reconstruction 3 D sans artefacts

Avec le projet ANR Aptitude, lancé en janvier, le Leti compte développer des méthodes de reconstruction 3D sans artéfacts pour la sonde atomique tomographique. En ligne de mire : le futur nœud technologique 14 nm et ses nouvelles architectures FINFET ou transistors FDSOI. Ils requièrent des outils de caractérisation capables d’offrir une cartographie quantitative de tous les atomes, en 3D et à l’échelle atomique.
Or, à ce jour, les structures 3D induisent des volumes reconstruits fortement distordus. Pour corriger ces artéfacts, ce projet unit le Leti (caractérisation sur la PFNC), le CNRS-GPM (reconstruction algorithmique), STMicroelectronics (fourniture de dispositifs avancés) et la société CAMECA (valorisation).

Contact : jean-paul.barnes@cea.fr

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