Substrats : le centre d’innovation Soitec-Leti est bien parti

Un an après son démarrage, le centre d’innovation sur les substrats Soitec-Leti poursuit sa montée en puissance. Il mobilise une douzaine d’ingénieurs de R&D de Soitec et un support important des équipes Leti. Ses équipements 200 et 300 mm, en particulier une ligne-pilote dédiée, viennent de s’enrichir d’un four Kokusai. Côté résultats, il obtient déjà du SOI 300 mm conforme à la qualité attendue par Soitec pour du prototypage.

L’objectif est de développer dans des délais resserrés des substrats innovants pour des nouveaux enjeux applicatifs (intégration 3D, filtres RF, microLEDs etc). Le centre est ouvert aux équipementiers, fondeurs et fabricants de dispositifs microélectroniques. Particularité notable : il produit des lots de manière récurrente pour accélérer la montée en maturité de ses procédés.

Contacts : yann.lamy @cea.fr; catherine.maddalon@soitec.com

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