TSMC, une locomotive pour la lithographie électronique

Depuis juillet, le Taïwanais TSMC participe au programme affilié « Imagine » monté par le Léti pour promouvoir la lithographie électronique à faisceaux multiples. Imagine se déroule à MINATEC, autour de l’équipement Mapper installé depuis quelques mois au bâtiment 41, dans les salles blanches du Léti. Les ingénieurs de TSMC sont impliqués dans l’évaluation de la technologie et des échanges sont prévus avec le programme « lithographie électronique » mené en interne par l’industriel.

Le soutien de TSMC, acteur majeur du semi-conducteur, tombe à pic pour cette technologie prometteuse (productivité élevée, coûts réduits) mais qui doit encore faire ses preuves. Le Léti est par ailleurs en discussion avancée avec d’autres industriels d’envergure mondiale intéressés par ce programme.

Contact : serge.tedesco@cea.fr

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