Un premier design kit pour la technologie M&NEMS

La technologie M&NEMS du CEA-Leti, déjà transférée à Tronics pour fabriquer des capteurs ultra-miniaturisés, dispose depuis peu d’un environnement de conception (design kit) sur Cadence. Il comporte plus de 110 règles sous Calibre, ainsi que 11 programmes de dessin automatiques pour des composants du capteur : pivot, masse mobile, peigne, électrode etc.
Particularité notable, qui a fait l’objet de deux publications : il propose une image prédictive des résultats de la gravure pour valider le placement des trous de libération.
Le premier utilisateur de ce kit design est Politecnico Milan, pour les besoins d’un projet européen qui a retenu la technologie M&NEMS. Le CEA-Leti le mettra également à disposition de ses partenaires industriels dans le cadre de projets communs.

Contact : marjorie.gary@cea.fr

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