Un second FIB pour Grenoble

La plate-forme de nanocaractérisation sera dotée en mai d’un microscope Zeiss à faisceau d’ions focalisé (FIB), financé par la fondation Nanosciences et destiné à un usage partagé avec la Plate-forme technologique amont et le laboratoire CMTC de Phelma. Cet équipement réalise à la fois de l’imagerie MEB et de la nanogravure par faisceau d’ions gallium. De plus, il est doté de quatre nanomanipulateurs capables de saisir des objets de quelques centaines de nanomètres ; un outil aujourd’hui indispensable aux équipes de nanosciences et de nanotechnologies.

Le pôle grenoblois, qui disposait déjà d’un FIB plus ancien, accède ainsi à de nouvelles possibilités : par exemple la reconstruction tridimensionnelle de matériaux par étapes successives de gravure et d’observation, ou des capacités de gravure localisée plus performantes.

Contact : pascale.bayle-guillemaud@cea.fr

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