Un thermomètre innovant pour composants de puissance qui chauffent

Une équipe CEA-Leti/Liten a réalisé et testé des capteurs thermiques innovants pour surveiller l’échauffement de composants de puissance HEMT*en nitrure de gallium. Ces capteurs sont fabriqués sur le même substrat et en même temps que les composants, sans niveau de masque supplémentaire. Basés sur l’effet Seebeck, ils peuvent anticiper un échauffement qui dégraderait les performances du circuit. Ils fonctionnent sans alimentation et génèrent une réponse de quelques dizaines à une centaine de millivolts.

Cette voie est plus performante que les capteurs thermiques actuels, logés près du circuit mais plus coûteux. De plus, elle pourrait accompagner la montée en puissance des composants HEMT : réservés aux applications de type smartphone, ils intégreront demain les véhicules électriques. Deux brevets ont été déposés.

Contact : rene.escoffier@cea.fr

* High Electron Mobility Transistor 

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