Vers un capteur de CO2 100% microélectronique

Le Leti propose le développement d’un capteur optique de CO2 en technologie 100 % MEMS incluant émetteur, détecteur, système optique et infrarouge. Son volume ne dépassera pas 1 cm3 et sa consommation sera limitée à 6 mW : de quoi envisager une version ultérieure encore plus compacte, intégrable par exemple à un téléphone portable. A ce jour, les capteurs de CO2 du marché sont assemblés à la main et leur encombrement avoisine les 20 cm3.

Dans le cadre du projet européen HOMES, le Leti avait déjà réalisé en 2012 un capteur de démonstration innovant. Il comprenait une source infra-rouge sur silicium, affichait 100 ppm de résolution et ne consommait déjà que 6 mW. Ce prototype avait été très bien accueilli par STMicroelectronics et IBM, réaction qui a décidé le Leti à poursuivre ses travaux.

Contact : luc.andre@cea.fr

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